1． 对薄膜形成与生长中相关物理过程及现象进行分析和建模。 2． 利用蒙特卡罗（Monte Carlo）方法和分子动力学（Molecular Dynamics）方法对薄膜形成与生长过程进行计算机模拟。 3． 对多孔硅形成的模拟。 -1. The film formation and growth of relevant physical processes and phenomena analysis and modeling. 2. Monte Carlo (the Monte C