微型惯性测量组合包括微型陀螺仪和微型加速度计，是MEMS技术在惯性技术领域成功应用。与传统的惯性器件相比，MIMU在设计、材料和制造等方面都采用了全新的、革命性的工艺和方法，使其具有前所未见的小体积和重量、商业级的低价格、极高的可靠性和寿命。MIMU的这些特点使得惯性测量技术的应用从不计成本的军事领域扩展到市场广阔的民用、商用领域。-Micro inertial measurement units, including micro-gyroscopes and micro-acceleromet

分析了 MEMS 惯性器件具有的典型误差项, 介绍了 Allan 方差分析方法的原理和实 现方法, 利用该方法可以对MEMS惯性器件的各个误差项进行辨识. 通过对一种商用级MEMS陀螺仪和加速 度长时间实测得到的数据进行处理和分析, 验证了Allan方差分析方法应用于误差项辨识的可行性, 并给出了 该 MEMS 惯性器件的各个误差项识别结果. 使用 Allan 方差方法得到的误差项系数可以直接应用于惯性器件 误差建模, 对于 GNSS/INS 组合导航系统的实现和改进有重要意义-